瑞研光學(xué)小課堂：光學(xué)元件表面平面度概念講解

表面平面度是一種測(cè)量表面精度的規(guī)格類(lèi)型，它用于測(cè)量反射鏡、窗口片、棱鏡表面等平面的偏差。

瑞研光學(xué)一般使用光學(xué)平晶來(lái)測(cè)量此偏差，如果是鍍膜產(chǎn)品，一般是膜之前要檢測(cè)表面精度，光學(xué)平晶是一種高質(zhì)量、高精度的參考平面，是一種標(biāo)準(zhǔn)件，用于比較試樣的平滑度。當(dāng)所測(cè)試的光學(xué)產(chǎn)品的平面靠著光學(xué)平晶放置時(shí)，會(huì)出現(xiàn)條紋，其形狀表示所檢測(cè)的光學(xué)產(chǎn)品的表面平滑度。如果這些條紋間隔相等，并且是平行的直線(xiàn)，那么被檢測(cè)的光學(xué)表面至少像參考光學(xué)平晶一樣平展。如果條紋是彎曲的，則兩個(gè)虛線(xiàn)（一個(gè)虛線(xiàn)與條紋中點(diǎn)相切，另一個(gè)虛線(xiàn)穿過(guò)同一個(gè)條紋的端點(diǎn)）之間的條紋數(shù)量會(huì)指出平滑度錯(cuò)誤。

平滑度的偏差通常是按波紋值(λ)來(lái)測(cè)量的，它們是由多個(gè)波長(zhǎng)的測(cè)試源組成。一個(gè)條紋對(duì)應(yīng)½的波長(zhǎng)。平滑度為1λ，則表示一般的質(zhì)量級(jí)別；平滑度為λ/4，則表示的質(zhì)量級(jí)別；平滑度為λ/20，表示高精度的質(zhì)量級(jí)別。

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